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新井：私たちアドバンテストは30年以上にわたって、メモリテスタを開発・提供してきました。いわば、メモリ半導体製造プロセスの革新をサポートし続けてきた企業とも言えます。メモリ半導体の進化は、大容量化と処理スピードの高速化の歴史でもありました。そのため、良否を判定するテストにおいても、いかに大量のデバイスを同時に試験するかが求められてきたのです。また、半導体製造の前工程であるウェーハレベルでテストを行うようになったのも、製造プロセスの進歩の一つ。これも、半導体の微細化が進み、より製造の難易度があがったことなどが背景に挙げられます。

加藤：そんなウェーハレベルのテストですが、今回は従来と同じスペースで3倍のウェーハを同時にテストできるようにするというのが、大きなイノベーションでした。

房：とはいえ、たった1枚のウェーハにも、その上には数百個～数千個のチップが集積されています。その一つひとつに電気的な検査が必要です。それが3枚になるということは、メモリテスタのサイズも通常は３倍になるはずです。これは私たちにとって、一つの壁となりました。

奥谷：その壁を乗り越えるためには、試験装置の省スペース化が必要でした。T5230はテスタのサイズの小型化と軽量化に加え、省電力も実現させました。

新井：そうした難易度の高い挑戦に対して、今回「クロスファンクション開発」方式を採用しました。最初のうちは“初めて”だらけでしたが、今思うと開発の初期から専門性の異なるメンバーが集い知恵を出しあったことで、モノづくりが飛躍的に進んだと感じています。

新井：この開発で、まず行ったのは「どのような試験装置であれば世の中に受け入れられそうか」、製品のコンセプトを考えることでした。マーケティングデータやお客さまと接する営業部門の情報をもとに、私たち開発部門だけでなく、ソフトウェアや生産、経理などあらゆる部門が一同に集まって、コンセプトや大まかな仕様を検討していきました。

奥谷：メモリテスタについては、多くのお客さまから、テスト効率を上げ、試験にかかるコストを抑えたいという共通するニーズをいただいていました。とりわけ今回の開発プロジェクトのきっかけとなったのは、フラッシュメモリをつくられているお客さまが、この製品コンセプトに興味を示してくださったことです。そこで、プロジェクトが本格始動しました。

新井：奥谷さんと話す中で見えてきたのは、単にテスト効率をあげるだけでなく、拡張性にも応えてほしいというお客さまのニーズでした。

奥谷：これまでの機能に加えて、試験できるウェーハの枚数も可能な限り増やしたい。さらに、測定するデバイスや使用環境に応じて臨機応変に活用したい、といった要望でした。

加藤：つまり、お客さまのニーズに合わせて複数のウェーハをテストできると同時に、使用環境に応じて、装置の構成を自由に変えられる構造が必要だということです。

奥谷：正直、かなりの難題という印象でしたが、私たちの製品は、お客さま先で10年以上ご利用いただきます。今あるニーズだけでなく、その先までを見越した拡張性を視野に入れることは重要だと考えました。そのため、この開発に取り組むメンバー全員のモチベーションは高かったと思います。

新井：1年ほどかけてコンセプトや仕様を固めた後、詳細設計の工程へと移りました。モジュールやソフトウェア、機械設計などを担当するメンバーにその仕様を伝えて、設計から評価検証まで行ってもらいました。

加藤：3枚のウェーハを同時に試験する機能を持ちながらも、工場でのテスタの設置面積を増やすことは許されません。

新井：従来よりも小さなスペースで、テスト効率をあげるにはどうしたらよいか。その打開策となったのが、試験装置の中に組み込まれているボードのサイズを大幅に見直したことでした。ボードを従来の約半分のサイズにし、その形状も変更しました。

加藤：約半分のサイズになったことで、設計の難易度がぐっとあがりました。これまでにない小さなスペースでどう回路や素子を集積するか、何度となく頭を抱えました。部品の間隔をつめて設計したとしても、正常に作動しない、ボードを量産できないでは意味がありません。生産のメンバーとも連携し、構造を模索し続けました。その結果、機能とつくりやすさを両立する構造が完成。出来上がった時は、大きな達成感がありました。

新井：高密度な設計を実現するには、熱との闘いもありました。そうした熱の問題をクリアするため、部材選定から見直して、熱解析による最適なレイアウト設計をしたことが、省電力にもつながっていきました。

房：ソフトウェアの開発にあたっても、他部署との連携は欠かせませんでした。特に今回担当したDC試験は、ハードウェアの仕様に基づいて、ソフトウェアでどのような機能を実装するかから検討しなければなりませんでした。テスタの性能を引き出すためにどんな制御フローにすれば良いか、ハードウェア開発部門と密に話し合いながら、ユーザーが使いやすいインターフェースをつくりあげていきました。

新井：ソフトウェアはユーザー目線でつくるので、そこが難しいところですね。

房：はい。ソフトウェア開発部門は、ハードのどの仕組みを使って、ユーザーが必要とする機能を実装するかを考えなければならないため、ハードウェアに関する知識も必要でした。自ら勉強するだけでなく、ハードウェア開発のメンバーに何度も質問しながら、理解を深めていきました。そして、評価検証の段階においても、ハードウェア開発はもちろん、システム&アプリケーションエンジニア（SE）などの部門にも協力してもらい、ようやく目標となる機能を実現することができたのです。